賴韋豪碩士學位論文獲選工程論文獎

賀本研究室

賴韋豪 碩士論文：

應用流場可視化與計算流體力學改善半導體蝕刻設備液膜均勻度之研究（發表於
IIEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing .  題目： Improving Liquid Film Thickness Uniformity of Semiconductor Etching Equipment Using Flow Field Visualization and CFD Simulation）

榮獲【台灣冷凍空調學會】–2021年工程論文獎獲優勝獎。