本研發團隊現有之研究設備堪稱完備，可完全支應聯盟運作研究之進行，過去十年來累積投入金額超過肆仟萬元。
| 編號 | 名稱 | 圖片 |
|---|---|---|
| 1 | Class1及Class1000(0.1μm)無塵室〈3.8 × 3 .6× 2.9m3，濕度± 0.1℃，RH± 1%〉 |  |
| 2 | Class0.1 Mini-Environment一座 |  |
| 3 | 超音波風速計2台 |  |
| 4 | CNC particle counter 1台 |  |
| 5 | Laser particle counter〈0.1μm~1.0μm〉2台 |  |
| 6 | 超音波流量計 | |
| 7 | TESTO溫濕度計4台 |  |
| 8 | HOTWIRE熱線式風速計 4 台 |  |
| 9 | 微壓差計〈resolution ± 0.1Pa〉 |  |
| 10 | 工程分析軟體，包括：Fluent, Start-CD, Phoenics, CFX, ANSIS, PROE, ADAMS, Flovent,CF Design, 6 SigmaX. eQuest, DOE II, Techplot. CleanCal II, 及目行開發之軟體 Fab Energy Simulator, FEC) |  |
| 11 | Gas Detector〈for NH3,HF...etc〉 | |
| 12 | Power Meter 4 台 | |
| 13 | RTD Thermal Meter | |
| 14 | 溫濕度校正器 | |
| 15 | 6階安德生採樣器1台 |  |
| 16 | 綠光雷射模組 |  |
| 17 | Class 0.1 Mini- Environment 一座 | |
| 18 | 無塵煙霧產生器 2 台 | |
| 19 | Liquid particle counter 2 台 | |
| 20 | Aerosol particle counter 3 台 | |
| 21 | 高阻計 1 台 | |
| 22 | 表面阻抗計 1 台 | |
| 23 | Airflow Hood 台 | |
| 24 | Charge plate monitor 1 台 | |
| 25 | 三次元量測系統 1 台 | |
| 26 | 精密水準器 | |
| 27 | 硬度計 1 台 | |
| 28 | 拉力計 1 台 | |
| 29 | 分析天平 1 台 | |
| 30 | 溫濕度計 2 個 | |
| 31 | 氣體流量校正器 1 台 | |
| 32 | 掌上型低流量空氣採樣器 1 台 | |
| 33 | 真空系統一套 (0.001 tor pump, chamber volume:140 Liter) | |
| 34 | Mini-Environmet (EFEM) 1 台 | |
| 35 | Laser Flow Visulization System (1.0, 2.0, 3.0 W Laser system) | |
| 36 | Compressed Dry Air (CDA) system 1 台 | |
| 37 | Real time NH3 measuring System. 1 台 | |
| 38 | PID (photo-ionization detector, TRAG) 1 台 | |
| 39 | 電子掃瞄穿隧顯微儀 | |
| 40 | 傅立葉紅外光光譜儀 (FT-IR Spectroscopy) | |
| 41 | 氣-固相反應真空儀 | |
| 42 | 高壓汞燈 | |
| 43 | 光化學反應器 | |
| 44 | 分子模擬工作站 | |
| 45 | 歐傑電子與低能電子繞射儀 | |
| 46 | 四極質譜儀 | |
| 47 | PIV雷射診斷儀 |
